納米壓痕技術也稱深度敏感壓痕技術，是zui簡單的測試材料力學性質(zhì)的方法之一，在材料科學的各個領域都得到了廣泛的應用。

　　納米壓痕儀主要由軸向移動線圈、加載單元、金剛石壓頭和控制單元等四部分組成。壓頭材料一般為金剛石，常用的有伯克維奇壓頭(Berkovich)和維氏(Vicker)壓頭。壓入載荷的測量和控制是通過應變儀來實現(xiàn)，整個壓入過程由計算機自動控制，可在線測量載荷與相應的位移，并建立兩者之間的相應關系(即P—h曲線)。在納米壓痕的應用中，彈性模量和硬度值是常用的實驗數(shù)據(jù)，通過卸載曲線的斜率得到彈性模量E，硬度值H則可由大加載載荷和殘余變形面積求出。

　　隨著納米壓痕技術的不斷發(fā)展和完善，壓痕儀在材料力學性能的研究中得到了廣泛應用。它不但可以給出材料的硬度和彈性模量值，而且可以定量表征材料的流變應力和形變硬化特征、摩擦磨損性能、阻尼和內(nèi)耗特性(包括儲存模量和損失模量值)、蠕變的激活能和應變速率敏感指數(shù)、脆性材料的斷裂韌性、材料中的殘余應力、材料中壓力誘發(fā)相變的問題、薄膜材料的力學性能等。實際上，任何一個可以從單軸拉伸和壓縮測試得到的力學性能參數(shù)都可以用壓痕的方法得到。