納米材料（微納米力學(xué)）的晶界及缺陷：納米固體材料是由顆粒或晶粒尺寸為1-100nm的粒子凝聚而成的三維塊體，納米固體材料的基本構(gòu)成是納米微粒加上它們之間的界面。物理上的界面不是指一個(gè)幾何分界面，而是指一個(gè)薄層，這種分界的表面具有和它兩邊基體不同的特殊性質(zhì)。因?yàn)槲矬w界面原子和內(nèi)部原子受到的作用力不同，它們的能量狀態(tài)就不一樣，這是一切界面現(xiàn)象存在的原因。

　　從納米技術(shù)的發(fā)展來(lái)看，納米測(cè)量技術(shù)的地位和作用是不容忽視的。納米加工和制造離不開(kāi)納米測(cè)量。精密計(jì)量已不能適應(yīng)納米技術(shù)發(fā)展的要求，而且成為了納米技術(shù)發(fā)展的瓶頸。因此納米測(cè)量技術(shù)和測(cè)量裝置不僅是21世紀(jì)納米技術(shù)實(shí)用過(guò)程中必須關(guān)注的焦點(diǎn)，而且也是21世紀(jì)計(jì)量測(cè)試領(lǐng)域研究的重中之重。一般來(lái)說(shuō)，一套完整的納米測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)該由四部分組成，即探測(cè)系統(tǒng)、位移系統(tǒng)、計(jì)量系統(tǒng)和信號(hào)處理及控制系統(tǒng)。

　　目前納米測(cè)量系統(tǒng)的種類(lèi)繁多，比較新型的主要有：掃描電鏡、共焦顯微鏡和掃描探針顯微鏡（SPM）。其中SPM可以對(duì)被測(cè)表面及近表面區(qū)域的物理特性在原子量級(jí)的水平上進(jìn)行探測(cè)，位置分辨率非常高，如掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡可以達(dá)到亞納米級(jí)的分辨率。

　　在納米測(cè)量系統(tǒng)中，被測(cè)物與探測(cè)系統(tǒng)之間一般要產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)才能測(cè)出所需參數(shù)。位移系統(tǒng)的作用就是產(chǎn)生探針相對(duì)于樣品的掃描運(yùn)動(dòng)，它是整個(gè)納米探測(cè)系統(tǒng)的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)框架，是其中最基礎(chǔ)的部分。對(duì)于小范圍位移，納米測(cè)量應(yīng)用比較多的是壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器與基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的微動(dòng)工作臺(tái)組成的位移系統(tǒng)。對(duì)于大范圍的位移，驅(qū)動(dòng)器通常有直線伺服電機(jī)，直接直線驅(qū)動(dòng)等，也有采用伺服電機(jī)加絲杠螺母的，導(dǎo)軌一般采用氣浮、磁浮或滑動(dòng)的形式。